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第二百四十三章 超紫外激光!波长1.5nm!功率2000w!(1)

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“开始!”

长春光机所的所长叫杜维明,随着他一声令下,全封闭绝尘实验室里,光刻机开始运行,大概也就十几秒钟过后,一片十二寸硅晶圆就被送下了机台。

其实,光刻机工作速度是很快的,每小时出片两百张以上,完全不存在任何问题。

制约产能的主要是沉积设备,pvd和cvd这类,其次是刻蚀设备包括icp,ccp,die这几种机台,另外热处理设备工作效率也十分感

一条月产能一万片十二寸晶圆的fab制造线,光刻机或许只有四五台,但刻蚀机,却起码要有六十台起步,如果想要追求高效率,甚至要堆一百台以上的刻蚀机。

目前,中微半导体的介质刻蚀技术,硅通孔刻蚀技术,位列全球前三,全球最牛的半导体代工厂台积电,生产线上就有成百上千台来自中微的刻蚀机,算是国产半导体行业里比较争气的存在。

“成了!”

“一次出片成功,比我预想的还要顺利!”

“不愧是昆仑集团啊,临时加进来的光学系统,竟然和旧机台配合的这么好!”

实验室里,穿着全套无尘服的工程师,取下十二寸硅晶圆,仔细看,会发现上面出现了密密麻麻,无比繁杂的线条,灯光下亮晶晶的,甚是喜

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