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当北方的清晨亮起第一抹阳光，长春光机所地下实验室里，一场激动
心的实验，也终于开始了。最新地址发送任意邮件到 ltx Sba@gmail.ㄈòМ 获取
激光发生器开始预热，这是全套光刻机台中最核心的部件之一，由中科光电院设计制造。
激光光源
出后，首先会进
光束矫正器，矫正器共有三组，调整光束方向，让激光束尽量保持平行。
调整完毕的平行激光，会进能量控制器。
顾名思义，能量控制器是调节激光功率的存在，控制最终照到硅片上的能量大小。
像芯片这样的高
密制造业，无论曝光不足或者过足，都会严重影响出片质量，所以能量必须收到严格的控制。
能量控制器之后，是光束形状设置器，它可以设置光束形态，呈圆型，环型，散型等等不同的形状，而不同形态的激光，又有着不同的光学特
。
光束形状设置器尾部，还有一组遮光器，在不需要曝光的时候，遮光器会把光束拦下来，防止光束照到硅片上。
再然后是能量探测器，这个东西主要是检测光束功率的，它无法单独使用，而是将检测信号回馈给能量控制器，配合能量控制器进行功率调整。
调整完毕的激光束，会穿过掩模版，进物镜。
掩膜版也叫光罩，简单来说呢，它就是一块内部刻着线路设计图的玻璃板，给硅片曝光用的，你想要什么样的半导体设计线路，就定制什么样的掩膜版。
掩膜版的价格和度成正比，国内海凸版，无锡华润，中微，
圳清逸，路维，十三所，五十五所，自动化所等等，都可以做这个东西。
目前，华夏已经把基础型掩膜版价格，砸成了白菜价，帝都微电子所的2um光刻板，只要一千两百块，南京55所的一千一百块，度1um的板子五千块，无锡华润略贵，两千块起步，但板子做的确实漂亮。
而要是度达到纳米级别的板子，那可就相当昂贵了，根据业内小道消息，苹果公司给旗下m1型处理器定制的掩膜版，造价高达上百万美元。
掩膜版下方，是一种名为掩膜台的机械装置，它的作用是承载掩模版进行运动，控制度为纳米级，为了达到苛刻的确控制要求，长春光机所从昆仑集团采购了高度极光电机。
在这套机台上，其实有很多技术和产品，都是来自昆仑集团，但最重要的部分，必须是掩膜台下方，巨大而又极端密的物镜。
物镜由三十多块镜片组成，主要作用是把掩膜版上的电路图，按照比例缩小，再用激光映的硅晶圆上，并且物镜还要主动补偿各种光学误差，控制曝光度。
可以毫不夸张的说，物镜就是光刻机的心脏，如果物镜技术过关，哪怕掩膜技术差一点，光源功率弱一些，最终也能得到不错的结果。
但如果物镜技术不行，其他所有子系统就算造的再好，也没有任何作用。
毕竟光刻机的本质，是一套光学系统。
很多不了解半导体行业的同学，往往对其有所误解，真正的芯片制造流程，是激光透过物镜在硅片上曝光出来的，而不是用机器物理雕刻出来的。
高原目光扫过硕大的物镜时候，嘴角轻轻扬起一抹弧度，信心满满。
这套物镜来自系统那大猪蹄子的馈赠，绝不是把三十多片打磨好的玻璃拼接起来那么简单，除了度，它还有着强大的功率补偿机制，容错机制。
也就是说，激光通过物镜后，功率可以得到一定程度提升，度方面，则可以做到无限接近完美的程度。
总之就是很牛
很强大的意思，开了外挂的物镜，效果杠杠的。
物镜下面，就是测量台和曝光台了，老式光刻机需要先测量，再曝光，而这种双工作台系统，则可以实现一片硅片曝光同时，对另一片硅片进行测量和校准，工作效率提高一倍以上。
目前世界上，只有荷兰asml掌握双工作台技术，长春这个机台如果量产的话，将是世界第二名。
整套机台最底部，是内部封闭框架和减振器，它们负责将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动
扰，并维持恒定的温度和压力。
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这一点极其重要，毕竟是制造高密芯片，哪怕最微小的震动，一粒尘埃，或者空气温度和湿度的差别，都有可能导致硅片曝光失败，或者前后两批芯片的能不一致。
一台完整的光刻机，大体就是这样了。
听上去简单，其实却是类历史上最复杂最密的机台，没有之一。
放眼全球，能做到紫外的，只有asml，佳能，尼康三家，而能做到极紫外的，则只有荷兰asml，其余所有竞争对手，全部惨遭淘汰，消失在历史的长河中。
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